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授業テーマ
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真空技術、プラズマ、半導体プロセス、固体表面分析など
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授業のねらい・到達目標
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実社会における生産プロセスでは，物理とか化学とかの区別することなく，広範な知識と多様な技術が必要である。本講義では，半導体製造プロセスで重要な真空、プラズマ科学，エッチング，蒸着などと共に，固体物理の基礎、半導体p-n接合、トランジスターの動作原理と製法について述べる。
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授業の方法
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授業内容をプリントで配布し、説明をする。プロジェクターを使用する事もある。
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事前学習・授業計画コメント
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気体運動論、気体プラズマ、固体物理の知識を事前に復習しておくことが望ましい。
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